inficon檢漏儀是基于質譜法原理，以氦氣作為檢漏儀器。質譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統和電氣部分組成。質譜法室中燈絲發射的電子在室內來回振蕩，與室內氣體碰撞，氦氣泄漏進入室內，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進入人體磁場，當洛倫茲力效應偏轉時，電弧形成，加速電壓的變化使不同質量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。
inficon檢漏儀的主要性能指標：
1.較小檢漏率：即氦質譜檢漏器能檢測到的較小泄漏率。
2.響應清除時間：當一定流量的勘探氣體進入氦質譜檢漏儀后，電子系統和真空系統需要一定的響應時間，漏率指示器可以達到較大值，漏率指示器不能立即恢復到零，需要一定時間下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除時間略長于響應時間。
3.啟動時間：氦質譜泄漏探測器開啟電源和能夠探測到泄漏之間的時間。
inficon檢漏儀使用前注意事項：
每次使用之前能在氣相分流口或其它氫氣或氦氣氣源對檢漏儀進行測試驗證。或者，肉眼檢視一下探針頭、參考氣體入口和排氣口是否有堵塞。
重要提示：一定要使用潔凈、干燥的氣體對檢漏儀進行測試操作。檢漏液、灰塵和其它的雜質進入探頭都可能會損壞檢漏儀。
檢漏儀對任何可聞或不可聞的氣體都有反應，而且靈敏度高，因此在使用過程中要注意溶劑蒸汽、分流口氣體甚至是強空氣流對測試結果的影響。請注意操作時不要對著參考氣入口處呼吸或者手指不要覆蓋/堵塞參考氣入口。
